Le matériau de substrat monocristallin fait référence à une plaque monocristalline pour la croissance épitaxielle d'un film mince en cristal.Et le terme " épitaxie " fait référence à une autre croissance directionnelle d'un autre cristal sur la surface d'un seul cristal dans certaines conditions.Avec le développement continu de la science et de la technologie, en particulier la montée et le développement de l'industrie optoélectronique,les performances et la qualité des films minces sont devenues de plus en plus exigeantesLes matériaux de substrat d'origine sont loin de répondre aux exigences, de sorte que divers matériaux monocristallins sont utilisés comme substrat.et le domaine de la recherche est en constante expansionLes matériaux en silicium monocristallin sont les matériaux de substrat préférés pour de nombreux films minces en raison de leur compatibilité avec les dispositifs microélectroniques.Certains des mêmes films minces cultivés sur différents substrats peuvent obtenir les meilleures performances ou les avantages les plus économiques.Par exemple, les substrats à film mince GaN comprennent le SiC, l'Al2Je vous en prie.3, ZnO, Si et LiAiO2Les matériaux monocristallins constituent la base de l'industrie optoélectronique.
En tant que matériau de substrat, le cristal unique présente les caractéristiques de base suivantes: propriétés physiques et chimiques stables, accès facile aux cristaux simples de grande taille, haute conductivité thermique,coefficient de dilatation thermique faible, une bonne résistance à la chaleur et une bonne capacité de traitement.
Types de substrats monocristallins
SiNx
Les films minces SiNx présentent une dureté élevée, une résistance à la corrosion, une résistance à haute température, une bonne conductivité thermique et une bonne isolation et d'excellentes performances photoélectriques.Les films minces SiNx ont été largement utilisés dans les domaines de la microélectronique et des systèmes micro-mécaniques..
GaAs
L'arsenure de gallium (GaAs) est un matériau semi-conducteur composé III-V qui peut fonctionner à des températures plus élevées et à des tensions directionnelles plus élevées.Il est le matériau préféré pour la fabrication de dispositifs de haute puissanceIl est un matériau idéal pour la fabrication de circuits intégrés à grande vitesse et d'appareils électroniques à grande vitesse.
Je vous en prie.2Je vous en prie.3
Le groupe Al0.32Je vais.0.78N/GaN film mince monocristallin développé par croissance épitaxielle sur un saphir (principalement Al2Je vous en prie.3) le substrat utilisant la technologie de dépôt de vapeur chimique organique métallique (MOCVD) est le matériau le plus préféré pour la préparation de dispositifs à haute température, à haute fréquence et à haute puissance.Le système de matériaux a un grand potentiel d'application dans le satellite, le radar, les communications et d'autres domaines.
SertiO3
Titane de strontium (SrTiO)3) est un matériau céramique électronique fonctionnel largement utilisé, qui présente les avantages d'une constante diélectrique élevée, de faibles pertes diélectriques et d'une bonne stabilité thermique.Et il est largement utilisé dans l'électroniqueEn même temps, en tant que matériau fonctionnel, le titanate de strontium présente une excellente activité photocatalytique,et possède des propriétés électromagnétiques uniques et une activité catalytique redoxLe titanate de strontium a également été largement utilisé dans la décomposition photocatalytique de l'eau pour produire de l'hydrogène, la dégradation photocatalytique des polluants organiques et les batteries photochimiques.En plus, il est souvent coupé en une pierre précieuse de type émeraude synthétique et constitue un très bon substitut au diamant.
Applications
Matériaux luminescents: Les diodes électroluminescentes à semi-conducteurs (LED) produisent de la lumière blanche et, en raison de leurs caractéristiques d'économie d'énergie et de protection de l'environnement,Ils sont devenus la nouvelle source de lumière la plus précieuse de ce siècle.Les matériaux monocristallins de substrat jouent un rôle clé dans les LED.2Je vous en prie.3Le point de fusion du monocristal de SiC est très élevé, environ 2700°C, de sorte que ses propriétés chimiques sont relativement stables.ce qui rend le contrôle de la production plus difficileJusqu'en 1991, le type 6H-SiC a commencé à être commercialisé, et la commercialisation du 4H-SiC a commencé à partir de 1994.
Matériaux supraconducteurs: Les matériaux supraconducteurs sont généralement préparés sur un substrat monocristallin d'une surface ultra-lisse.Il est caractérisé par l'absence de dommages à la surface ou des rayures et pas de dommages sous la surfaceCe traitement de substrat monocristallin de surface ultra-lisse s'infiltre progressivement dans de nombreux domaines tels que la supraconductivité, la magnétorésistance géante, les films minces ferroélectriques et autres.La structure quasi-cubique deLaAlO3à température normale, est un substrat monocristallin de surface typiquement super lisse avec une constante de réseau de 0,379 nm.LaAlO3est souvent utilisé comme substrat pour le matériau supraconducteur à haute température YBCO.
Le matériau de substrat monocristallin fait référence à une plaque monocristalline pour la croissance épitaxielle d'un film mince en cristal.Et le terme " épitaxie " fait référence à une autre croissance directionnelle d'un autre cristal sur la surface d'un seul cristal dans certaines conditions.Avec le développement continu de la science et de la technologie, en particulier la montée et le développement de l'industrie optoélectronique,les performances et la qualité des films minces sont devenues de plus en plus exigeantesLes matériaux de substrat d'origine sont loin de répondre aux exigences, de sorte que divers matériaux monocristallins sont utilisés comme substrat.et le domaine de la recherche est en constante expansionLes matériaux en silicium monocristallin sont les matériaux de substrat préférés pour de nombreux films minces en raison de leur compatibilité avec les dispositifs microélectroniques.Certains des mêmes films minces cultivés sur différents substrats peuvent obtenir les meilleures performances ou les avantages les plus économiques.Par exemple, les substrats à film mince GaN comprennent le SiC, l'Al2Je vous en prie.3, ZnO, Si et LiAiO2Les matériaux monocristallins constituent la base de l'industrie optoélectronique.
En tant que matériau de substrat, le cristal unique présente les caractéristiques de base suivantes: propriétés physiques et chimiques stables, accès facile aux cristaux simples de grande taille, haute conductivité thermique,coefficient de dilatation thermique faible, une bonne résistance à la chaleur et une bonne capacité de traitement.
Types de substrats monocristallins
SiNx
Les films minces SiNx présentent une dureté élevée, une résistance à la corrosion, une résistance à haute température, une bonne conductivité thermique et une bonne isolation et d'excellentes performances photoélectriques.Les films minces SiNx ont été largement utilisés dans les domaines de la microélectronique et des systèmes micro-mécaniques..
GaAs
L'arsenure de gallium (GaAs) est un matériau semi-conducteur composé III-V qui peut fonctionner à des températures plus élevées et à des tensions directionnelles plus élevées.Il est le matériau préféré pour la fabrication de dispositifs de haute puissanceIl est un matériau idéal pour la fabrication de circuits intégrés à grande vitesse et d'appareils électroniques à grande vitesse.
Je vous en prie.2Je vous en prie.3
Le groupe Al0.32Je vais.0.78N/GaN film mince monocristallin développé par croissance épitaxielle sur un saphir (principalement Al2Je vous en prie.3) le substrat utilisant la technologie de dépôt de vapeur chimique organique métallique (MOCVD) est le matériau le plus préféré pour la préparation de dispositifs à haute température, à haute fréquence et à haute puissance.Le système de matériaux a un grand potentiel d'application dans le satellite, le radar, les communications et d'autres domaines.
SertiO3
Titane de strontium (SrTiO)3) est un matériau céramique électronique fonctionnel largement utilisé, qui présente les avantages d'une constante diélectrique élevée, de faibles pertes diélectriques et d'une bonne stabilité thermique.Et il est largement utilisé dans l'électroniqueEn même temps, en tant que matériau fonctionnel, le titanate de strontium présente une excellente activité photocatalytique,et possède des propriétés électromagnétiques uniques et une activité catalytique redoxLe titanate de strontium a également été largement utilisé dans la décomposition photocatalytique de l'eau pour produire de l'hydrogène, la dégradation photocatalytique des polluants organiques et les batteries photochimiques.En plus, il est souvent coupé en une pierre précieuse de type émeraude synthétique et constitue un très bon substitut au diamant.
Applications
Matériaux luminescents: Les diodes électroluminescentes à semi-conducteurs (LED) produisent de la lumière blanche et, en raison de leurs caractéristiques d'économie d'énergie et de protection de l'environnement,Ils sont devenus la nouvelle source de lumière la plus précieuse de ce siècle.Les matériaux monocristallins de substrat jouent un rôle clé dans les LED.2Je vous en prie.3Le point de fusion du monocristal de SiC est très élevé, environ 2700°C, de sorte que ses propriétés chimiques sont relativement stables.ce qui rend le contrôle de la production plus difficileJusqu'en 1991, le type 6H-SiC a commencé à être commercialisé, et la commercialisation du 4H-SiC a commencé à partir de 1994.
Matériaux supraconducteurs: Les matériaux supraconducteurs sont généralement préparés sur un substrat monocristallin d'une surface ultra-lisse.Il est caractérisé par l'absence de dommages à la surface ou des rayures et pas de dommages sous la surfaceCe traitement de substrat monocristallin de surface ultra-lisse s'infiltre progressivement dans de nombreux domaines tels que la supraconductivité, la magnétorésistance géante, les films minces ferroélectriques et autres.La structure quasi-cubique deLaAlO3à température normale, est un substrat monocristallin de surface typiquement super lisse avec une constante de réseau de 0,379 nm.LaAlO3est souvent utilisé comme substrat pour le matériau supraconducteur à haute température YBCO.
